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PN-99 PFEIFFER ターボ分子ポンプ
【番号】PN-099 【メーカ】PFEIFFER 【型番】TMU071P/TC600 【仕様】DN 63CF
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BN-004 回転導入機
【番号】BN-004 【メーカ】ANELVA 【型番】954-7605 【その他】磁気結合型
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MN-040 水晶式膜厚計 CRTM-6000G
【番号】CRTM-6000G 【メーカ】ULVAC 【型番】CRTM-6000G 【その他】動作品
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PN-100 EDWARDS 磁気浮上ターボ分子ポンプセット
【番号】PN100 【メーカ】EDWARDS 【型番】STP-H451C ポンプ本体 SCU-800コントローラ 【その他】 動作確認済み
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XN-019 ICFクラスターフランジ ICF203/ICF70・ICF34
【番号】XN-019 【メーカ】ー 【仕様】 ベースフランジ ICF203 キリ ポートフランジ ICF70 キリ ×1 センタ位置 ICF34 タップ ×6 PCD≒115