UN-018 XYステージ
【番号】UN-018
【メーカ】
【型番】
【仕様】
UN-017 電流導入端子
【番号】UN-017
【メーカ】MDC
【型番】
【仕様】ICF34 10P
UN-016 電流導入端子
【番号】UN-016
【メーカ】MDC
【型番】
【仕様】ICF34 10P
UN-015 ICF114 ニップル
【番号】UN-015
【メーカ】
【型番】
【仕様】ICF114 L=75
UN-014 チタンサブリメーションポンプ
【番号】UN-014
【メーカ】ANELVA
【型番】956-7015
【仕様】ICF70
UN-013 トランスファーロッド（Z-φ軸）
【番号】UN-013
【メーカ】V.O.C
【型番】
【仕様】ICF70 ストローク700mm
UN-012 トランスファーロッド（Z-φ軸）
【番号】UN-012
【メーカ】V.O.C
【型番】
【仕様】ICF70 ストローク750mm
UN-011 トランスファーロッド（Z軸）
【番号】UN-011
【メーカ】Huntington
【型番】L-2235-10
【仕様】ICF70 ストローク250mm
UN-010 トランスファーロッド（Z軸）
【番号】UN-010
【メーカ】Huntington
【型番】L-2235-8
【仕様】ICF70 ストローク200mm
UN-009 トランスファーロッド（Z-φ軸）
【番号】UN-009
【メーカ】Huntington
【型番】VF1161
【仕様】ICF70
UN-008 トランスファーロッド（Z-φ軸）
【番号】UN-008
【メーカ】北野精機
【型番】KTJ-34
【仕様】ICF70
UN-00７ 手動L型バルブ
【番号】UN-007
【メーカ】MDC
【型番】AV-150
【仕様】ICF70
UN-006 オールメタルバルブ
【番号】UN-006
【メーカ】ANELVA
【型番】
【仕様】ICF70
UN-005 ANELVA バリアブルリークバルブ
【番号】UN-005
【メーカ】ANELVA
【型番】951-7170
【仕様】ICF70 インレット側ICF34
UN-004 ANELVA バリアブルリークバルブ
【番号】UN-00４
【メーカ】ANELVA
【型番】951-7172
【仕様】ICF70 インレット側ICF34
UN-001 超高真空シャッタ ICF152
【番号】UN-001
【メーカ】
【型番】
【仕様】ICF203
UN-003 ゼロレングス覗窓
【番号】UN-003
【メーカ】
【型番】
【仕様】ICF203
UN-002 ゼロレングス覗窓
【番号】UN-002
【メーカ】
【型番】
【仕様】ICF114
VN-027 アイソレーションバルブ 未使用品
【番号】VN-027
【メーカ】アネルバ
【型番】V-025SV-200
【仕様】NW２５ 未使用品
VN-026 超高真空手動ゲート弁 ICF１５２
【番号】VN-026
【メーカ】HVA
【型番】
【仕様】ICF152
VN-025 超高真空手動ゲート弁 ICF１５２
【番号】VN-025
【メーカ】アネルバ
【型番】951-7740
【仕様】ICF152
PN-056 中古油回転ポンプ ULVAC D-330DK
【番号】PN-056
【メーカ】ULVAC
【型番】D-330DK
【仕様】
【その他】
CN-013 ３元RF/DCスパッタリング装置
【番号】CN-103
【メーカ】神港精機製
【型番】SRV-4310改造品
【仕様】真空槽 約φ500×150
排気系 ６インチターボ分子ポンプ＋1000L 油回転ポンプ
カソード 4インチ 非磁性体用 2式 磁性体用 １式
RF電源 １ｋW 13.56MHz 自動マッチング
DC電源 １ｋW
逆スパッタ RF電源 自動マッチング
MFC Ar、O2
その他 RF電源は3台のカソードに、DC電源は１台のカソードに接続が可能
動作確認渡し
貴社の仕様に合わせて改造致します。
VN-024 超高真空用L型弁 ICF203
【番号】VN-024
【メーカ】
【型番】
【仕様】ICF203 L型弁 ベローシール
BN-008 ICF７０ ゼロレングス覗き窓
【番号】B-008
【メーカ】アネルバ
【型番】954-7002
【仕様】ICF70
【その他】
BN-007 ICF152 ゼロレングス覗き窓
【番号】B-007
【メーカ】アネルバ
【型番】954-7004
【仕様】ICF152
【その他】
BN-006 ICF114 ゼロレングス覗き窓
【番号】B-006
【メーカ】アネルバ
【型番】954-7003
【仕様】ICF114
【その他】
BN-005 ICF203 ブランクフランジ
【番号】BN-005
【メーカ】
【型番】
【仕様】ICF203 ブランク
【その他】
VN-023超高真空バリアブルリークバルブ アネルバ
【番号】VN-023
【メーカ】アネルバ
【型番】951-7172
【仕様】φ70ICF付き、インレット側φ34ICF
【その他】
PN-055中古クライオ温度計 アイシン
【番号】PN-055
【メーカ】アイシン精機
【型番】TAG05
【仕様】Pt-Co 極低温温度計
【その他】