CN-011 マイクロ波 プラズマエッチング装置
【番号】CN-011
【メーカ】PVA TePla AG
【型番】Plasma-System 400
【仕様】構成 プラズマエッチング装置 １式
ドライ真空ポンプ １式
ハロゲンガス吸収ユニット１式
テーブル １式
ウェハ装填治具 １式
チャンバ アルミ製 有効寸法 幅４００×高さ４００×奥行４００
ガス制御 O2 ９８５cc/min （最大） CF4 ９４５cc/min （最大）
ターンテーブル アルミ製 ３５０φ
マグネトロン 最大出力 １０００W
周波数 ２．４５GHｚ
出力可変範囲 １００～１０００W
ON-006 未使用ハースライナ ＪＥＯＬ用φ35標準
【番号】ON-006
【メーカ】SVAC
【型番】
【仕様】Cu製 φ３５ JEOL標準
【その他】未使用品
３０個程度在庫御座います。
CN-004 中古フィードスルー
【番号】CN-004
【メーカ】
【型番】
【仕様】 10インチ×80
SUS304製
【その他】
CN-003 中古アクリルチャンバ
【番号】CN-003
【メーカ】
【型番】
【仕様】 チャンバ φ300×300（内径）
アクリル製 片扉
ポート 扉側 KF25×1 ブランク×2
対面 KF80×1 KF25×2（１個回転導入機構付き）
KF25 8Pフイードスルー×4
φ15ポート×1
【その他】
