真空装置・真空部品の設計・製作・販売、磁性流体シール・水晶振動子・精密加工は（有）エスバックにお任せ下さい・・・中古装置、部品も販売中

装置の改造、中古チャンバをベースの改造等、様々な御要望にお応えします。
又、チャンバは新規製作しオーバーホール部品等を使用してコストを下げる事も可能です。

蒸着装置

・抵抗加熱電極、電子銃、るつぼの追加
・イオンガン、イオンプレーティング機構の付加
・水晶式膜厚計の設置
・スパッタリング装置への改造
・プラズマ重合機能の追加
・基板回転機構の改造
・基板加熱機構の追加
・基板ホルダの製作

スパッタリング装置

・カソードの追加 
・DC→RF、RF→DC　スパッタへの変更
・基板加熱機構の追加
・プラズマ重合機能の追加

制御

・排気、成膜の自動化

排気

・排気系の変更(ドライ化、サイズ変更)
・排気時間短縮

バッチ装置からインライン装置まで、海外への移設も可能です。

油回転ポンプ・メカニカルブースタポンプ・拡散ポンプ・クライオポンプ等のオーバーホール・メンテナンスが可能です。

【拡散ポンプのメンテナンス作業】

【油回転ポンプのメンテナンス作業】

【クライオポンプのオーバーホール】

リークチェック、各種部品の交換、溶接などの修理もお請けします。