真空用機器の製作

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光学膜用終点検出器

光学膜の終点を精度良く検出します。

終点検出器 説明

◆画面遷移

電源投入直後は「初期画面」です。
「青色矢印」で示されるボタンで各画面に行きます。

◆「計測」画面


⇒大きな画像で見る

◆設定画面

  • 条件は50パターン設定できます。
  • ピーク数の設定が0 のときの終点算出値は「Start 光量」±「ディレイ(ABS)」です。
  • 不検出は、Start 直後にピークを検出させない時間を設定します。Start 直後の光量が逆ブレするなど、Start 直後の光量変化が不安定な時に使用します。

  • A/D 平均回数: 移動平均の回数を設定します。光量信号がノイジーな時、値を大きくしてください。
    ただし、値が大きいほど応答が遅くなります。設定の目安は200~800 程度と思われます。
  • ピーク判定数: ピークを検出する時の感度を設定します。数値が大きいほどピーク誤検知が減少しますが、ピークを検出するまでの時間が長くなります。設定の目安は10~50 程度と思われます。
  • ブザーあり/なし: 終点検出時にブザーを鳴らす時間を設定できます。0~300sec(0 は連続)。
  • 手動操作の許可/禁止: 「計測」画面のStart,Stop ボタン操作の許可/禁止を設定します。

  • I/O、アナログ入出力モニタ、Beep 出力テスト。
  • 出力選択:アナログ出力の信号を選択します。
    「モニタ」:光量入力信号
    「ダミー7波形」:疑似sin 波
  • 「ダミー波形設定」でダミー波形の振幅、中心位置、周期を設定します。

  • 入力ディレイは、I/O 入力信号にディレイタイムを設定します。
    例えば01 を設定した場合、0.1 秒以上On またはOff が持続したとき、On またはOff 信号と認識します。
    初期値はOn/Off 共に01 です。ノイズが原因で誤動作するときに値を大きくしてください。
  • ADスケールオーバー無視は、アナログ入力信号の入力上限(ケールオーバー)エラーを無視する時間を設定します。
    ケールオーバーエラーが設定した時間を超えた時、AD ユニット異常としてエラー信号を出力します。初期値は60 です。

 

◆終点検出が設定可能な光量変化のパターン

(例示はStart後に増加するパターンのみですが、減少する場合も同様です。)

 

◆エラー詳細

  • 強制Stop: 計測中にI/O Stop 入力かStop ボタンを押した時に異常とします。
    異常解除は、リセットボタン、Start 入力、I/O DataStrobe 信号の入力のいずれかで解除できます。
  • ピーク数異常: 条件設定のピーク数より多くピークを検出したときに異常とします。
    終点算出値に到達する前にピークが来たとき、光量が異常にふらついた時などが想定されます。
    異常解除は、リセットボタン、Start 入力、I/O DataStrobe 信号の入力のいずれかで解除できます。
  • 終点算出異常: 終点算出値が100%以上もしくは0%以下の時に異常とします。
    条件設定P=0 か1 の時に発生する可能性があります。
    異常解除は、リセットボタン、Start 入力、I/O DataStrobe 信号の入力のいずれかで解除できます。
  • CPU 異常: シーケンサの演算エラー、ハード異常を検出した時に異常とします。
    右端の数字はエラーコードです。
    電源のOFF⇒ON で異常解除できない場合、エラーコードを弊社までご連絡下さい。
  • AD ユニット異常: AD ユニットで異常を検出した時に異常とします。
    右端にエラーコード、下段にエラーメッセージを表示します。
    ハードエラー、通信エラー以外のエラーはリセットボタンで解除できます。
    もし、リセットボタン、もしくは電源OFF⇒ON で異常解除できない場合、エラーコードとエラーメッセージを弊社までご連絡下さい。

コンダクタンスバルブ/コントローラ

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16インチコンダクタンスバブル
ステッピングモータを採用し、正確な開度調整が可能です。

コンダクタンスバブル操作説明

電源ON 盤背面端子台にAC200Vを受電し、全面の電源スイッチをONします。
電源ON状態にてスイッチ取付のLEDが点灯します。
原点復帰 電源投入後は毎回、原点復帰動作が必要です。電源投入後、LEDが点滅している 全開スイッチ(設定によっては全閉)を押してください。原点復帰動作が始まります。
原点復帰中はSTARTスイッチのLEDが点滅します。これはモータ動作中であることを示します。
原点復帰完了後は全開(全閉)スイッチLED点灯と共に、開度表示に100%(0%)が表示されます。
開度制御 原点復帰完了後に開度設定用サムロータリスイッチ(2桁)を動作させたい開度をに 設定し、STARTスイッチを押す事によりモータが指定した開度へ動作を開始します。
この時、原点復帰時と同様にSTARTスイッチのLEDが点滅します。
設定した開度へ開度表示をカウントしながら動作し、設定開度と開度表示が同じに なった所で動作完了です。
※STARTスイッチON後、モータ回転中に設定スイッチを変更してもSTARTスイッチを押した時の設定が反映されてます。
全閉 全閉スイッチを押す事により開度設定しなくても0%へ向け動作を開始します。
この時、原点復帰時と同様にSTARTスイッチのLEDが点滅します。
0%へ開度表示をカウントしながら動作し、開度表示が0%になったところで動作完了です。
全開 全開スイッチを押す事によって原点復帰動作が行われます。動作は起動時の原点復帰動作と同様です。
STOP モータ動作中に何らかの理由でモータを停止したい場合に押すことによりモータを停止することが出来ます。ただしモータ途中停止後は再度、原点復帰動作が必要になります。
AWD 将来拡張用のスイッチで、現状では使用しません
FREE モータを何らかの理由でフリーにしたい場合に押すことによりモータをフリー状態に
することが出来ます。ただしモータ途中停止後は再度、原点復帰動作が必要になります。
異常復帰 モータドライバより何らかの異常が発生した場合にブザーと共にこのスイッチのLEDが点滅します。
OPX-2にて異常内容を確認し、異常を取り除いた後このスイッチを押す事によりブザー及びLEDが停止し異常がリセットされます。
異常復帰後は再度、原点復帰動作が必要になります。